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3377体育AI二次仪表在太阳能石英坩埚中的应用

更新时间:2015-10-14      点击次数:2346

摘要:本文以常熟华融太阳能新型质料有限公司为例 ,介绍了3377体育AI仪表在太阳能石英坩埚中的应用。从用心情况、工艺流程、生产原理、应用情况等方面进行详细的描述 ,通过实际应用证明3377体育产品在此行业的乐成应用。
   要害词:AI仪表、石英坩埚、太阳能
  

一、引言
    
    常熟华融太阳能新型质料有限公司(SPM)是一家新兴的致力于研发、生产、销售太阳能光伏产品---太阳能石英坩埚的高科技企业。该公司在生产中 ,接纳了3377体育的二次仪表和无纸纪录仪进行电流监测、液位收罗、压力收罗、温度控制以及历程组态、数据纪录等操作 ,贯串于石英坩埚熔制、烘干、酸洗、涂泵魅整个生产流程 ,提高了石英坩埚生产的自动化水平 ,由于仪表的高精度、高稳定性能 ,在生产历程中确保了石英坩埚的品质 ,并且有效地降低了客户能源消耗。
二、项目介绍

(一)用表型号:

 

 

 

(二)项目详述:
  
  石英坩埚可在1450°以下使用 ,分透明和不透明两种。早期的坩埚是全透明的 ,这种全透明的机构容易引起不均匀的热传输、增加晶棒生长的难度 ,所以这种坩埚险些遭到淘汰;现代的坩埚通常是使用电弧法生产的半透明石英坩埚 ,保存有内外两层结构 ,外层是高气泡密度的区域 ,称为气泡复合层 ,内层是一层3-5mm的透明层 ,称为气泡空泛层。石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点 ,世界半导体工业兴旺国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚 ,是拉制大直径单晶硅 ,生长大规模集成电路*的基础质料。

1、工艺流程:
  

                                                  图1  石英坩埚生产工艺图
  如图1所示:项目生产产品为石英圆坩埚 ,主要工艺办法为模具加料、坩埚熔制炉熔制、制品出炉、尺寸检验、酸洗、水洗、超声清洗、涂钡、包装入库。具体介绍如下:
  ①加料:在石墨模具中加入所需重量石英砂 ,将模具导入熔制炉内;
  ②熔制阶段:先抽真空 ,然后通过3根石墨电极起电弧 ,熔制阶段温度约1700摄氏度。抽真空带出部分石英砂粉尘 ,需收集处理。
  ③制品出炉:经过30~40分钟的熔制阶段后 ,将电弧关闭 ,模具退出熔制炉;
  ④尺寸检验:使用卡钳及卡尺检验尺寸巨细 ,及格产品进入下一步工序;
  ⑤喷砂:用喷枪将石英砂喷在坩埚外貌 ,用来去除外貌的附着物 ,喷出的砂由除尘器收集后重复使用 ,人工操作 ,设置专门喷房;
  ⑥切割:坩埚熔制完毕后 ,模具带着坩埚退出熔制炉 ,由工人用锤子轻轻敲打模具外外貌 ,使坩埚脱离模具 ,石墨模具重复使用。一般使用寿命为十几炉。当石墨模具泛起严重裂缝或变形时作报废处理;
  ⑦检验:人工检验坩埚尺寸等规格;
  ⑧清洗:先酸洗 ,将坩埚没入(6~8%)HF酸洗槽内洗 ,然后取出没入清水中水洗 ,然后进行高压清洗及超声波清洗 ,去除外貌剩余离子;
  ⑨涂钡:将氢氧化钡粉末溶于水 ,坩埚放入涂钡机内 ,氢氧化钡均匀喷涂于坩埚内外貌。氢氧化钡极易与空气中的CO2反应生BaCO3 , 坩埚外貌的涂层即为BaCO3。 Ba(OH)2、BaCO3均很稳定 ,涂钡历程中无Ba离子爆发 ,但Ba(OH)2溶液 ,BaCO3i沉淀都是对人体有危害的剧毒物质 ,操作历程需作好防护。
  ⑩包装入库:使用纸箱包装 ,叉车将坩埚送入货仓。
  
2、生产原理:
      
  

                               图2  石英坩埚生产原理图
  
  ①毛坯的生产:将高纯石英粉装入可任意倾动角度的旋转成型模内(在金属水冷套内插入石墨模具) ,利用离心力作用和成型棒手工成型 ,将已成坩埚形的旋转装置回转到电极棒处 ,然后将电极起弧并插入已成型的粉料腔内 ,使用其快速熔化成坩埚形状的熔融石英 ,经冷却后取出 ,即完成一个石英坩埚的毛坯生产。
  ②制品成型:电极起弧插入已成型的石英粉料腔内 ,可以手动或自动升降电极 ,以包管坩埚上下部的均匀熔化和电极烧蚀后的赔偿 ,从而制造出稳定形状的制品 ,如图二所示。
  旋转成型和回转机构是将两个金属水冷套(内放石墨模)安顿在一个大的回转盘上 ,已抵达一个处在熔化历程中 ,另一个进行成型操作 ,从而可提高生产效率一倍。
  如果接纳多孔石墨 ,并施以真空 ,则可以生产出内层透明外层不透明的通用规格的高质量坩埚。
  
3、我司产品在石英坩埚项目中的应用情况

  
三、结束语
  
  此次的石英坩埚项目是太能工业集群的一次实验 ,石英坩埚作为拉制单晶硅的载体 ,在整个太阳能工业链中的作用是禁止忽视的。3377体育的二次仪表在实践中为石英坩埚的生产提供了强有力的包管 ,仪表具有很强的抗滋扰性 ,稳定性抵达生产需求 ,在常熟华融太阳能新型质料有限公司的生产历程中 ,操作简便 ,现场运行良好 ,大大提高了石英坩埚生产效率 ,使其工业自动化水平又跃上一个新的台阶。并且由于仪表在温度、压力、液位、电流等的控制 ,提升了客户产品的品质 ,在一定水平上资助了客户塑造良好的品牌形象。

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