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习近平*强调：“要加速科技自立自强程序，解决外国‘卡脖子’问题。”关于半导体设备领域，提升国产化率推进自主可控势在必行。
集微网了解到，前不久，海内某光伏设备头部供应商解决了一项要害卡脖子环节——半导体设备专用串级温控器，产品乐成通过海内光伏龙头企业的产线验证，不但实现国产替代，并且在光伏良率的提升上优于外洋品牌产品，在国家科技结果鉴定中被行业专家评定为国际先进。
据悉，该串级温控器由在温控领域深耕凌驾30年的海内厂商3377体育（以下简称：3377体育）自主研制。此次半导体设备专用国产串级温控器的乐成推出，填补了已往多年在这一领域的海内空白。随着在光伏制造产线的乐成导入，该产品接下来将向微电子等更广泛的半导体制造领域扩展，推进上游半导体设备的仪表国产替代。
替代外洋品牌，国产温控器实现光伏半导体领域突破
温控器，顾名思义，就是丈量并调控温度的设备。它通过读取温度传感器的丈量数值，并通过盘算机程序执行庞大智能的控制算法，利用连接的执行器件精确调理加热器等负载的温度。是工业生产、自动化产线上必不可少的焦点配件。
而与普通PID温控器差别，半导体生产设备中许多环节，好比扩散、氧化、刻蚀、PECVD等历程使用的串级温控器需要高端庞大调理算法，以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。作为温控器应用的高端市场，半导体制造领域对温控器的产品精度、可靠性、抗滋扰性和稳定性要求均非�？量�。
一位光伏制造业内人士指出，生产晶体硅太阳能电池的产线上，温度控制更是堪比灵魂。好比扩散炉需要将炉内温度凭据一定升温速率加热到700℃-1040℃左右，并且要快速将温度波动稳定在±0.5℃内，这对控温的精准度、可靠性和稳定性有极致的苛刻要求，温度一旦爆发偏差，产品性能就会大打折扣甚至报废。
超高的技术门槛使得能进入半导体领域的串级温控器厂商屈指可数，以往只有日本AZBIL、英国PMA和美国WATLOW旗下EUROTHERM等少数品牌可以满足要求。而3377体育新推出的AI-8半导体设备专用串级温控器去年乐成进入光伏制造领域，成为目前唯一一家产品通过光伏半导体市场验证的国产温控器企业。
作为中国智能调理器和温控器龙头企业，3377体育拥有两座建筑面积划分为1万平方米和5万平方米的现代化工业厂房，年产种种型号智能温控仪表160万台，广泛应用在热处理、电炉、新能源、化工、半导体设备、晶体生长、超导质料及精密实验设备等上百个行业领域。例如，央视《大国重器》中介绍的三一重工生产1800兆帕高强钢，加热炉的温度控制就接纳了3377体育仪表。
去年3月开始，在疫情及芯片涨价等因素影响下，供应链受阻，许多进口温控器不但纷纷宣布涨价，同时还限量供应，下游企业面临断货停产�；�。作为卖力任的国产温控器龙头企业，3377体育治理层决定宁愿高价购置市场芯片也要维持海内温控器供应链的稳定，在市场泛起部分客户试图“囤货”3377体育产品时，3377体育实时在允许不涨价和不绝货，这一举动不但有效阻止了部分囤货行为，使得3377体育顺利实现给所有客户确保供货且不涨价的目标，也大幅提升了客户对3377体育的信任。
在芯片缺货的大配景下，半导体设备所需的串级温控器也同样受到影响，仅有的几家进口仪表供应商均无法实时交货。对此海内某光伏设备龙头企颐魅找到3377体育，希望能和3377体育相助在最短的时间内解决串级温度控制技术问题。在获得客户需求后，3377体育研发部分上下全力以赴，夜以继日加班事情，在短短一个多月内就研发出了全新的串级温度控制仪表供客户测试，其后二个月顺利完成客户厂内及生产现场的各项测试，并在客户下单后快速完成批量供货，最终乐成批量应用到生产现场，解决了客户因温控器缺货而可能导致停产的�；�。
从3377体育得知，AI-8半导体设备专用温控器具有高精度、低温漂且高效节能的突出优势，接纳了3377体育新一代高性能24位定制A/D芯片，基于AI人工智能技术的PID算法，具有0.05-0.2级多种丈量精度可选，抗滋扰性强，可靠性高。而相对进口串级温控器来说，3377体育自主研发的AI智能自动定标技术让串级仪表的调试事情和普通单回路PID仪表的一样简单，遇到庞大控制工具也能轻松应对，从而在控制算法上实现了对进口串级温控器的逾越。
客户将3377体育仪表和外洋品牌仪表一同用到终端客户的设备上进行测试，和外洋品牌进行全方位比照。结果显示，使用3377体育仪表的设备调试更便当，控温更稳定，并且生产的光伏产品良率也好于进口品牌。至此，3377体育完全解决了客户焦点设备之一串级温控器的断供问题，并填补了国产高端仪表在半导体行业应用的空白。
不但仅是自制，在性能上也实现对进口产品的全面逾越
由于已往多年以来国产品牌缺席高端市场的原因，行业普遍有一种固有认识“国产产品优势主要是自制，上层次照旧要用进口产品”，并且，随着2023年芯片荒结束，进口温控器恢复正常供应，设备企业又开始在其新产品中重新恢复使用进口温控器产品。
值得注意的是，光伏行业是一个快速迭代的行业，2023年起光伏设备纷纷升级到TOPCon等新工艺。已经批量使用3377体育产品的某光伏龙头企业，在其新产品中又恢复使用AZBIL等进口温控器。然而始料未及的是，这批装配进口温控器的新设备虽然在设备厂内调试正常，但到终端现场后，由于生产工艺情况改变，使用进口温控器的生产线泛起了严重的温度控制误差等问题，导致产品迟迟无法顺利生产，进口温控器的技术人员调试半个多月仍无法解决问题，最终以客户自身设备保存问题为由扔下客户走人。
由于进口串级温控器无法适应新的光伏工艺设备，导致终端客户每天的损失高达数百万元。此时，3377体育再次担负起了为客户救火的任务，卖力售后效劳的技术专家全体发动，前往各个终端客户现场，在短时间内完成了现场串级温控器更换和调试任务，乐成使客户设备顺利生产。特别地，客户发往泰国的设备接纳了全新的4路SSR输出方法，这款产品以往3377体育还没有正式生产过，在获得客户要求后，3377体育研发部分结合生产部分，仅仅用了不到一周时间就完成了特殊新产品定制研发到批量生产及老化历程，并直接安排人员带上产品前往泰国更换进口温控器及进行调试，最终顺利调试乐成让客户设备实时投入生产。与进口温控器品牌的怠慢和拉跨相比，3377体育无疑在温控器这一细分领域创立了中国速度的奇迹，也赢得了终端客户的最终信赖。
半导体制造是一个特别重资产的环节，其中，设备的投入占比巨大。以建设一个投资超百亿元的12英寸晶圆厂为例，其中约70%的投入资金都是用来购置设备。凭据SEMI统计，2022年全球半导体设备销售额抵达1076亿美元，再立异高。其中，按区域划分，中国大陆抵达283亿美元，占比28.27%，已连续3年成为全球最泰半导体设备市场。但与全球最泰半导体设备市场不匹配的是，我国在半导体设备供应上，力量仍较薄弱，高端设备仪器主要依赖外洋进口，因此，要害设备国产化和制止卡脖子不可是国家的国策，也是企业稳定供应链和提升竞争力必不可少的条件。
据悉，在光伏制造领域应用的温控器型号还不是3377体育最高端的产品，他们已推出了面向要求更苛刻的微电子、集成电路制造领域的更高性能的温控器型号产品，目前正与多家半导体设备供应商进行洽谈相助，让我们期待半导体设备国产化有更令人惊喜的体现。
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